반도체 산화 공정의 특징 TOP 5
반도체는 8대 공정을 거쳐서 탄생합니다. 그중 산화 공정은 반도체 제조에서 소자의 성능과 신뢰성을 결정짓는 핵심 단계라고 할 수 있습니다. 따라서 이번 글에서는 산화 공정의 주요 특징 5가지를 심도 있게 알아보도록 하겠습니다. 1. 고온 열처리 기반의 산화 반응 반도체 산화 공정은 주로 열 산화(Thermal Oxidation) 방식으로 이루어집니다. 이 과정에서는 먼저 실리콘 웨이퍼를 900도에서 1,200도 사이의 고온 … Read more