반도체 Bipolar ESC의 5가지 원리
오늘의 주제는 Bipolar ESC입니다. Bipolar ESC의 ESC란 Electro-Static Chuck의 준말로, 정전 척을 의미합니다. 간단히 말해 고전류를 정밀 제어하는 기술입니다. 현재는 반도체 공정에서 필수적인 구성 요소로 자리매김하였습니다. 따라서 이번 글에서는 Bipolar ESC의 핵심 원리 5가지를 자세히 알아보겠습니다. 1. Bipolar 구조의 기본 이해 Bipolar ESC(Electrostatic Chuck)는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 고정하기 위한 장치입니다. 그중에서도 정전력을 이용해 웨이퍼를 … 더 읽기