열산화 공정 시 주의해야 하는 사항 TOP 5
2025년, 열산화 공정은 반도체 제조에서 핵심 단계 중 하나로 뽑힙니다. 이때 열산화 공정은 정밀성과 안정성이 생명입니다. 따라서 이번 글에서는 열산화 공정 중 발생할 수 있는 주요 문제와 주의해야 하는 사항을 알아보도록 하겠습니다. 1. 온도 균일성 확보의 중요성 열산화 공정이란 고온의 환경에서 산소나 수증기를 웨이퍼 표면에 반응시켜 실리콘 산화막(SiO₂)을 형성하는 공정입니다. 이때 온도 균일성이 막 두께의 … Read more