반도체 EDS 공정의 5가지 방법론
EDS 공정은 반도체 8대 공정 중 검사 및 품질 분석에 핵심적인 역할을 하는 공정입니다. 그만큼 중요하고 정밀한 제어가 요구되는 과정입니다. 따라서 이번 글에서는 반도체 EDS 공정의 5가지 방법론을 알아보겠습니다. EDS란 무엇인가? EDS는 Energy Dispersive X-ray Spectroscopy의 약자입니다. 즉, 에너지 분산형 X선 분광법이라는 뜻입니다. 이는 반도체 공정에서 재료 분석 및 불순물 검출에 사용되는 정밀 분석 기법입니다. … 더 읽기